진공 측정은 진공 기술의 중요한 구성 요소입니다. 진공도를 측정하는 데 사용되는 기기를 진공 게이지라고 합니다.
진공로 및 진공 용해로에 일반적으로 사용되는 진공 게이지에는 열전대 진공 게이지, 이온화 진공 게이지 등이 포함됩니다. 작동 원리는 다음과 같습니다.
(1) 열전대 진공 게이지
열전대 진공 게이지는 민감한 부품, 열전대 게이지 및 측정 장비로 구성됩니다. 열전대 게이지 튜브는 유리관 외부 쉘과 열선 및 열전대 와이어가 튜브 내부에 있는 테스트된 진공 시스템에 연결됩니다. 열전대 와이어의 차가운 끝과 뜨거운 끝 사이의 온도 차이로 인해 회로에 열전 전위가 생성됩니다. 열선의 전압이 일정하게 유지되면 열전대선의 전위는 열선의 온도에 의해 제한되며, 열선의 온도는 측정 가스의 압력과 관련이 있습니다. 낮은 압력, 낮은 가스 열전도율, 가스에 의해 전달되는 열 감소, 전열선 온도 증가, 열전대 와이어의 열전 전위 증가; 반대로 열전 전위는 감소합니다. 회로의 열전 전위는 밀리볼트 미터를 사용하여 측정되며 미터의 밀리볼트는 진공 수준을 반영합니다. 전열선의 전압 안정성을 확보하기 위해 안정적인 전원을 연결하였습니다. 따라서 측정 장비는 열전 전위를 측정하기 위한 밀리볼트 미터와 조절된 열선 안정화 전원 공급 장치로 구성됩니다.
(2) 이온화 진공 게이지
이 유형의 진공 게이지는 주로 높은 진공 수준을 측정하는 데 사용됩니다. 압력이 낮고 강한 가스에서 가스 분자의 이온화에 의해 생성된 양이온의 수는 가스 압력에 정비례합니다. 다양한 이온화 방법에 따라 열음극을 사용하여 전자를 방출하여 가스를 이온화하는 진공 게이지를 열음극 이온화 진공 게이지라고 합니다. 그 중 열음극 이온화 진공 게이지는 열음극 게이지와 측정기로 구성됩니다. 측정 장비는 조정된 작동 전원 공급 장치, 방출 전류 안정기, 이온 전류 측정 증폭기 및 기타 구성 요소로 구성됩니다. 열음극 이온화 게이지는 테스트된 진공 시스템에 연결됩니다. 열음극 이온화 게이지는 내부에 음극, 게이트 및 컬렉터가 있는 트랜지스터입니다. 음극 전기 음성 전위에 대한 극성 전위를 수집합니다. 게이트는 음극에 비해 양의 전위를 가지고 있습니다. 이온화 게이지에 전기가 통하고 가열되면 음극에서 전자가 방출되는데, 이 전자가 게이트에 도달하는 과정에서 가스 분자와 충돌하여 양이온과 전자가 이온화됩니다. 방출 전류가 일정할 때 일일 양이온 수는 측정된 가스의 압력에 정비례합니다. 양이온이 수집 전극에 의해 수집되고 측정 회로에 의해 증폭된 후 측정할 진공도(박스 퍼니스)가 지시 전기 계량기로 판독될 수 있습니다.
(3) 복합진공게이지
일반적으로 단일 진공 게이지는 저진공과 고진공을 측정하는 데 사용할 수 없지만 복합 진공 게이지를 사용해야 하며 이온화 및 열전대 복합 진공 게이지가 더 일반적으로 사용됩니다. 측정 범위는 13.33-666.6 × 10-8Pa입니다. 열전대 진공 게이지를 사용하여 (10-10-10-3) x 133.32Pa에서 저진공 측정; 이온화 진공 게이지는 133.32 × 10-3-666.6 × 10-8Pa의 고진공을 측정합니다. 복합 진공 게이지에는 열전대 게이지와 이온화 게이지가 장착되어 있으며 각각 진공 시스템에 연결되어 있습니다. 두 개의 게이지는 손잡이로 별도로 가열할 수 있으며 선택하여 사용할 수 있습니다.