진공 소결로가 정상 작동 중에 갑자기 정전이 발생하면 전원 제어 캐비닛을 즉시 열어 외부 정전인지 장비의 내부 전원 공급 장치 고장인지 확인해야 합니다. 외부 정전 사고인 경우에는 즉시 주전원 스위치를 끄고, 입구 및 출구 컨베이어 벨트의 실리콘 웨이퍼를 제거해야 합니다. 진공압 소결로가 정상 작동 중에 갑자기 냉각수가 부족해지면 장비가 자동으로 작동을 멈추고 경보가 발생합니다. 이때, 입구 및 출구 컨베이어 벨트의 실리콘 웨이퍼를 제거해야 하며, 냉각 프로세스를 장치 PC에 다운로드해야 합니다. 컨베이어 벨트를 청소한 후 장비를 열 수 없습니다. 진공압력 소결로 입구와 출구의 비상정지 스위치를 누를 수 있으며, 비상정지 스위치를 당기면 기계적 잠금장치가 해제됩니다.
또한, 진공 소결로는 비정상적인 사용을 방지하기 위해 정상적인 사용 중에 검사를 받아야 합니다.